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30um 线路难，难点确实不是“细”，而是三件事:曝光精度、蚀刻均匀性、对位稳定性。细线对光刻胶厚度、曝光能量、显影时间都极其敏感，曝光稍微偏一点，线宽就不均匀;蚀刻液浓度、温度、喷淋压力波动，就会出现开路或短路;对位精度不够，整层就报废。
